특허(출원)
반응부산물 포집장치 및 이를 이용한 반도체 소자의제조장치
출원번호 | 1020070047934 | 출원일 | 2007-05-17 |
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출원인 | 주성엔지니어링(주) | 소속기관 사업자등록번호 | - |
해외출원 여부 | 국내출원 | 출원/등록 국가 | 대한민국 |
우선권 주장번호 | - | 기여율 | 100 % |
등록번호 | 10-1324209-0000 | 등록일 | 20131025 |
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발명자 |
이명진
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박정호
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다. |
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IPC 코드 |
H01L 21/02
B01D 51/02
H01L 21/67
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CPC 코드 |
H01L 21/02
B01D 51/02
H01L 21/67034
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법적상태 | 등록 | ||
요약 | 본 발명은 반도체 소자 제조 공정에서 챔버로부터 배기되는 배기가스의 흐름은 원활하게 하면서 배기가스에 포함된 반응부산물을 효율적으로 포집 및 제거하기 위한 반응부산물 포집장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조장치에 관한 것으로서, 배기가스 입력부와 배기가스 출력부를 갖고, 그 내부의 상측에는 상기 입력부와 출력부를 연결하는 유로가 형성되는 하우징과; 상기 하우징 내부의 하측으로 배치되고, 상기 입력부로 유입되는 배기가스가 접촉되어 반응부산물이 포집되는 다단의 포집 플레이트를 갖는 포집 플레이트 결합체를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
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