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연구보고서

  • 플라즈마 보조 화학기상 증착법 (PECVD)법을 이용한 유·무기 복합 플라즈마 폴리머 박막의 특성 및 응용 연구
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 고효율 결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 Al 2 O 3  후면 패시베이션용 VHF PECVD 플라즈마 소스 및 장비 핵심 요소 기술개발
  • 플라즈마 보조 화학기상 증착법 (PECVD)법을 이용한 유·무기 복합 플라즈마 폴리머 박막의 특성 및 응용 연구
  • 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
  • 플라즈마 보조 화학기상 증착법 (PECVD)법을 이용한 유·무기 복합 플라즈마 폴리머 박막의 특성 및 응용 연구

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