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  • OLED 조명용 4세대 이상급 고생산성 대면적 증착장비 및 공정기술개발

    (1415112243)

    2010

    OLED조명조기사업화기술개발

    박영호

    주식회사 디엠에스

    지식경제부

    4850000000 (6485500000)

    「연구개발성과」 : 특허(4) , 연구시설장비(1)

    ㅁ 물류시스템 o Loader/Unloader -. T/T 1분을 위한 Loader/Unloader 개발 -. Pumping 및 Vent 최적화 챔버 설계 o 기판이송 및 Mask 교체 -. Invertor 없는 마스크 교체 기술 -. Low Particle 마스크 교체 기술 -. Glass 처짐이 없는 마스크 설계기술 o Low P/C 이송 기술 -. 저진동 마스크/glass 이송 기술 -. Shield 및 Ch 내 증착물질 최소화 o Integration 기술 -. 물류 및 공정 자동화 기술 -. 안정성 확보ㅁ OC1 o 노즐설계 -. 박막 불균일도 확보를 위해 Simulation을 통한 노즐 설계 및 배열 o 물질사용효율 극대화위한 module 설계 -. 기판과 기판 간격 최적화 -. 물질 Loss 최적화를 위한 노즐 제작ㅁ OC2 o 기판온도 전달 최적화 설계 -. Shield 제작 -. Cooling unit 제작 o Co-Dep. 을 위한 무기 증착원 제작 -. Inorganic source 제작 -. Co-Depo 증착원 및 공정 개발ㅁ OC3 o 5세대 기판용 유기챔버 제작 -. 진공에 변형이 없는 챔버 제작 -. 기판 이송과 박막 증착 동시 진행 -. Tray의 떨어짐 없이 연속 증착 o 5세대 기판 적용 선형 유기 증발원 개발 -. 증착원 설계 및 시뮬레이션을 통한 최적화 -. 증발원의 장시간 사용 구조 개발 기술 -. 노즐 크기 등에 따른 균일도 확보 기술 -. 증착 효율 증대를 위한 기판과 셀 거리 o 균일한 Low Doping을 하기 위한 선형 증발원 개발 -. Doping 정확도를 위한 노즐 변경 개발 -. Host(1ea) Cell과 Dopant(2es) 최적 배치 -. Low Doping Rate : ≤ 10% (wt%)ㅁ MC o 5세대 기판 적용 금속박막 증착 챔버 제작 -. 진공에 변형이 없는 챔버 제작 -. 수평 이동 system -. 기판 이송과 박막 증착 동시 진행 -. Tray의 떨어짐 없이 연속 증착 o 대면적 기판 증착에 금속 증발원 개발 -. 높은 증착속도를 갖는 금속 증착원 개발 -. 균일도 확보를 위한 Cell 구조 및 배열 기술 -. 연속 증착 구현을 위한 증착원 기술 개발 -. 장시간 사용 두께 센서 이용 방법 개발ㅁ 보조전극 및 절연막 o Printing 공정에 의한 보조전극 및 절연막 형성 -. 인쇄공정을 적용 저저항 보조배선 공정 개발 -. Printing 공정에 의한 절연막 형성 기술 개발 -. Printing 공정에 의한 1 Step 보조배선 및 절연막 형성 공정기술 개발ㅁ 장비평가/소자제작 o 대면적 In-line 장비 양산성 검증 및 소자 특성 평가 -. Printing 공정으로 제작된 기판 소자 평가 -. 물류 및 유기/금속 증착 모듈의 성능 평가 -. In-line 물류 및 증착시스템 양산성 검증 -. 대면적 OLED 조명 소자 제작 및 특성 평가

  • 플렉서블 및 대면적 OLED용 공정 장비와 핵심 소재 기술 기획

    (1425086079)

    2013

    중소기업R&D기획역량혁신

    고중희

    한국진공연구조합

    중소기업청

    17500000 (17500000)

    「연구개발성과」 : 연구보고서(1)

    ○ 플렉서블 OLED 디스플레이 패널에 적합한, 투명전극 소재 및 공정 기술 개발 - 플렉서블 투명전극이란 PET, PES, PEN과 같은 플렉서블 기판상에 성막시킨 높은 전도도와 가시광 영역의 높은 투과도를 가지는 전극 물질을 의미하며 유연성을 갖기 때문에 플렉서블 디스플레이의 전극으로 응용이 가능하다. - 플렉시블 투명 전극으로 응용이 가능한 소재로는 여러 가지 금속메시, 금속나노와이어, 투명 전도 산화물 (Transparent conducting oxide), 탄소나노튜브, 그래핀, 고분자 전도체 등이 알려져 있으며, ITO 박막이 대표적으로 사용되는 플렉서블 투명전극이나 여러 가지 문제점으로 인해 이를 대치하기 위한 유연한 투명전극으로 특히 각광 받고 있는 금속 나노와이어(은, 구리 나노와이어)의 경우, 다른 대안들에 비해 비교적 높은 투명전극 특성을 보여주고 있어, 이를 플렉서블 OLED 산업 공정에 적용되기 위해 해결해야할 이슈들을 조사하고 유망 후보 소재 및 공정 기술을 도출한다. ○ 대면적 OLED 디스플레이에 적합한 화소 패터닝 기술 개발 - 기존의 디스플레이 시장을 대체하기 위해서는, OLED 패널의 대면적화가 요구되며, 현재 특정 업체의 경우, 대면적 OLED 패널 양산에 성공하며, OLED TV를 출시하였으나 높은 제품 가격 및 양산 수율이 낮다는 문제점을 가지고 있으며, 현재 OLED 패널 제작에 적용되고 있는 방법은 메탈마스크를 이용한 진공 증착법은 높은 유기재료의 성능을 활용할 수 있다는 장점이 있으나, 마스크 처짐 등의 문제로 대면적 패널 양산에 어려움을 겪는 기술이다. 이를 개선하기 위해 다양한 소스 방식을 이용한 증착 방법들이 고안되고 있으며이에 적합한 진공 증착 장비 개발이 필요하다. 최근 2013 CES에서 일본 업체가 잉크젯(ink-jet) 공정을 이용한 고해상도 대면적 OLED 패널을 공개함에 따라 다시 관심이 높아지고 있다. 미래 지향적인 관점에서 저가격의 대면적 패널에 적합한 용액공정법으로의 전환은 필수적일 것이며, 이에 대한 기술 선점이 중요할 것이다. ○ 대면적 및 고속 공정에 적합한 OLED 봉지 장비 및 핵심 박막 소재 개발 - 현재 봉지기술의 문제점은 유무기 다층 박막(organic-inorgacnic multi-layer)을 성막 하는 공정시간이 너무 길어 양산에 적용하기 어렵다는 것이다. 따라서, Linear module과 같은 진공 증착 장비의 생산성을 높이기 위한 방법들이 고안되고 있으며, 개선된 고속 진공 증착장비들의 개발이 필요하다. - 유무기 다층 박막을 이용한 봉지 기술에서, 공정 시간을 획기적으로 줄이기 위해서는 소재 관점에서의 접근 방식이 필요하다. 즉, 한 쌍의 유무기 수분 투과 방지막의 특성이 좋을수록 적은 쌍의 다층 박막이 요구될 것이다. 기존에 Vitex 기술의 경우, 공정 시간이 길다는 문제 뿐만 아니라, 공정 상에서 외부 입자의 유입이 많아 실제 패널에 적용하기 어렵다는 문제가 있다. 이에 대한 대안으로, 원자층 단위로 박막을 형성하는 ALD 공정이 대두 되었고, ALD의 단점인 생산성을 향상시키기 위한 장비들이 고안되고 있으며, 이를 실제 산업 공정에 적용하기 위한 공정 기술 개발이 필요하다. 플라스틱 기판에 손상을 입히지 않는 저온 공정이 필수적이다. 플라즈마 기상 증착 방식은 반응성이 높은 플라즈마를 활용함으로서 저온에서 박막 증착이 가능한 기술로 이들을 활용한 플렉서블 OLED 봉지 기술 개발이 요구된다. ○ 대면적 OLED 디스플레이용 용액 금속산화물 반도체 소자 공정 및 장비- OLED 디스플레이 패널은 전류구동 소자로 상대적으로 높은 이동도 특성을 갖는 TFT 제작이 요구되며, 기존의 중소형 패널에 적용된 백플레인(backplane)의 경우 레이저를 이용하여 결정화 시킨 poly-Si이 이용되었으나, 이 방법은 대면적 패널 공정에는 부적합하여 이에 대한 대안책들이 요구되고 있는 실정이다. - 현재 대면적 OLED 패널 양산에 적합한 백플레인으로 주목받고 있는 기술은 산화물 반도체이다. 이는 기존의 LCD 공정에서 사용하던 스퍼터 장비를 그대로 활용할 수 있을 뿐만 아니라, TFT 특성도 OLED 패널에 적합하여 현재 양산되고 있는 OLED TV에 적용되고 있는 기술이다. 그러나, 이 기술은 아직 수율 면에서 문제점을 겪고 있으므로 이를 해결할 증착 기술이 요구된다. - 미래지향적인 관점에서 인쇄장비를 활용한 용액 기반의 산화물 반도체 제작 연구가 활발하다. 이는 상압에서 진행이 가능한 공정으로 기존 공정보다 값싸게 제조가능하다는 장점이 있으나, 아직 성능 측면에서 개선할 점이 많은 기술이다.

  • 고해상도/대면적 OLED 디스플레이용 방열시트 (혼합 그라파이트) 양산성능평가 및 개선

    (1415182867)

    2022

    소재부품산업기술개발기반구축(R&D)

    권재성

    주식회사 에이치티씨

    산업통상자원부

    430000000 (537500000)

    1. 양산성능평가ㅇ 고해상도/대면적 OLED 디스플레이용 그라파이트 방열시트 국산화 개발 소재의 객관적 성능 및 신뢰성 평가 (외부 평가기관) - 기존 수입제품 대비 수직방향 열전도율 향상효과 성능 평가 - 주요 적용 두께 (0.5~1.0mm)에서의 밀도,열전도율,피치밀도 등 데이터베이스 확보 - 그라파이트 합지 종류 및 필름 소재별 신뢰성 평가 (고온고습, 내진동, 온도사이클, 저온시험 등) - 대면적(최대 폭 1500mm) 방열시트 물성 및 신뢰성 시험 - 소재 자체 강성 (인장력, 박리력 등) 특성 평가 ㅇ OLED TV 완제품 성능 및 신뢰성 평가 (수요기관) - 고성능 혼합 그라파이트 방열시트 장착 제품 및 수입제품 냉각 효과 비교 (패널 표면온도, 온도분포, burn-in발생 등) - 수요기업 신뢰성 평가 및 개선 - 소재특성 (열전도율, 두께별, 합지) 조건별 SET 영향도 평가2. 양산성능개선ㅇ 절연 및 방열성 도료 코팅 혼합 그라파이트 시트 개발 - 보호필름 대체 방열도료 균일 코팅 기술 개발 - 단면부 보호필름 합지 공정 삭제를 통한 유효열전도율 성능 향상 및 원가절감

  • 대면적 OLED 증착용 새도우 마스크 설계

    2008

    학술지

    김국원; 엄태준; 주영철 더 보기

    제어·로봇·시스템학회 논문지

    2008.01.01

    Deformation of the shadow mask is one of the problems encountered during the deposition of organic materials for manufacturing large size organic light emitting diode (OLED). The larger the glass substrate, the larger the shadow mask becomes. As the size of the shadow mask increases, its deformation becomes more severe, thereby making it difficult to deposit organic materials in a precise pattern on a substrate. In this paper, a new method for reducing drooping of the shadow mask for large size OLED vapor depositions is proposed. The proposed shadow mask with cross stripe wires has higher stiffness than the pure shadow mask, which results in reducing drooping of the shadow mask. A commercial FEM program, ANSYS, is used for the evaluation of the proposed shadow mask. The analysis showed that the shadow mask with cross stripe wires have an effect on reducing drooping about 18.6% or more.

  • 저저항 투명전극/광추출층 집적기판과 이의 OLED 소자 응용 기술 개발

    2017

    학술대회

    정성훈

    한국표면공학회

    2017.05.25

    최근 OLED기술을 조명에 응용하고자 하는 연구가 급증되고 있다. 이는 유연하고, 대면적 확장이 가능하며, 다양한 형태 구현에 있어 장점이 존재하기에 차세대 감성조명으로써 주목을 받고 있다. 고효율의 OLED 조명을 위해서는 저저항/고유연의 투명전극 소재의 개발을 통해 전기적 손실을 최소화해야하고, 광추출층의 적용을 통해 내부에서 생성된 빛을 외부로 잘 방출시켜 광학적 손실을 최소화해야한다. 이를 위해 많은 다양한 투명전극에 대한 연구와 광추출을 위한 방법에 대한 연구가 진행이 되고 있고, 두 가지 효과를 한번에 얻을 수 있는 집적기판에 대한 수요가 높아지고 있다. 본 연구는 인쇄공정과 플라즈마 공정을 통해, 미세배선이 함몰된 집적 기판을 개발하여 저저항/고유연 투명전극을 구현하였고 기판 상 나노구조체 형성을 통해 광추출 효율을 기존에 비해 20% 이상 향상시킬 수 있었다. 이러한 기판은 향후 대면적 OLED 조명에 응용이 가능할 것이라 전망한다.

  • yttrium 도핑 IGZO 채널층을 적용한 TFT 소자의 전기적, 안정성 특성 개선

    2015

    학술대회

    김도영

    2015년 한국 진공학회 추계학술대회

    2015.08.26

    Thin-film transistors(TFTs)의 채널층으로 널리 쓰이는 indium-gallium-zinc oxide(IGZO)는 높은 전자 이동도(약 10 cm2/Vs)를 나타내며 유기 발광 다이오드디스플레이(OLED)와 대면적 액정 디스플레이(LCD)에 필수적으로 사용되고 있다. 하지만, 이러한 재료는 우수한 TFT의 채널층의 특성을 가지는 반면, ZnO 기반 재료이기 때문에 소자 구동에서의 안정성은 가장 큰 문제로 남아있다. 따라서 최근, IGZO layer의 특성을 향상시키기 위한 연구가 다양한 방법으로 시도되고 있다. IGZO의 조성비를 조절하여 전기적 특성을 최적화거나 IGZO layer의 조성 중 Ga을 다른 금속 메탈로 대체하는 연구도 이루어지고 있다. 그러나 IGZO에 미량의 도펀트를 첨가하여 박막 특성 변화를 관찰한 연구는 거의 진행되지 않고 있다. 산화물 TFTs의 전기적 특성과 안정성은 산소 함량에 영향을 많이 받는 것으로 알려져 있으며, 더욱이 TFT 채널 층으로 쓰이는 IGZO 박막의 고유한 산소 공공은 디바이스 작동 중 열적으로 활성화 되어 이온화 상태가 될 때 소자의 안정성을 저하시키는 것이 문제점으로 지적되고 있다. 그러므로 본 연구에서는 낮은 전기음성도(1.22)와 표준전극전위(-2.372 V)를 가지며 산소와의 높은 본드 엔탈피 값(719.6 kJ/mol)을 가짐으로써 산소 공공생성을 억제할 것으로 기대되는 yttrium을 IGZO의 도펀트로 도입하였다. 따라서 본 연구에서는 Y-IGZO의 박막 특성 변화를 관찰하고자 한다.

표/그림

  • 주 조명용 대면적 OLED 면광원 기술 개발
    주 조명용 대면적 OLED 면광원 기술 개발
    주 조명용 대면적 OLED 면광원 기술 개발
    주 조명용 대면적 OLED 면광원 기술 개발
  • 그래핀 응용 OLED 패널기술

    2016

    이정익

    한국전자통신연구원

    정보전자

    ... 방지막을 대체하는 플렉서 블 디스플레이 기술 개발의 절실한 요구를 해결하기 위해 그래핀 소재의 OLED 디스플레이 전극 및 방 지막 응용기술 개발에 매진하였다. 그래핀의 우수한 특성을 기반으로 대한민국이 ... 부여하여 위한 그래핀의 가능성을 연구하게 되었다.기술의 내용 및 성과의 차별성·우수성 - 대면적 OLED를 위한 그래핀 소재·공정패널 기술그래핀을 투명전극으로 이용한 OLED를 실험실에서 ...

  • 롤투롤 제조기술로 고유연 OLED 조명/ 사이니지 생산기술

    2021

    조정대

    한국기계연구원

    기계소재

    연구배경 및 필요성 - 신개념 유연 OLED 하이브리드 생산시스템OLED 조명은 가장 인간친화적인 빛이다. 지금까지 유연(flexible) OLED 생산은 유리기판에 유연필름을 부착하고 ... 구축하였으며, 또한 부드럽게 휘어지고 다양한 형상을 갖는 조명/사이니지를 생산 할 수 있는 대면적, 고유연 미세화소 기반 OLED 단위 소자(102.5 X 102.5 mm2) 및 모듈 제작 ...

  • 대면적 유리 기판에 대응이 가능한 RGB OLED 방식의 초고해상도 화소 형성 기술 개발

    2020

    조관현

    한국생산기술연구원

    기계소재

    ... 기술 개발의 중요성이증대되고 있다. 국내외 글로벌 디스플레이 업계가 자발광 특성을 가지는 OLED를 미래 VR·AR 분야의 신성장동력으로 육성하고 있는 상황에서 VR 기기의 저소비전력 특성을 ... 차별성·우수성 - 대면적 유리 기판에 대응이 가능한 RGB 방식의 세계최고 수준인 1867 PPI급 OLED 발광층 패턴 기술 개발본 연구과제를 통해 대면적 및 유리 기판에 대응이 가능하며 RGB 방식의 ...

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